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數(shù)字式電容位移傳感器

簡要描述：

MTI 數(shù)字式電容位移傳感器D-100 D-200 D-300 D-400數(shù)字式電容位移傳感器性度高達(dá)滿量程的 0.01%具有亞納米級(jí)別的分辨率

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MTI 數(shù)字式電容位移傳感器

 

D-100 D-200 D-300 D-400MTI 數(shù)字式電容位移傳感器

線性度高達(dá)滿量程的 0.01%

具有亞納米級(jí)別的分辨率

可以選擇標(biāo)準(zhǔn)的探頭和定制的探頭


 

MTI 數(shù)字式電容位移放大器

先進(jìn)的功能

1、具有行業(yè)中zui高的分辨率，線性度高達(dá) 0.01%

2、不需要模數(shù)轉(zhuǎn)化器

3、通過網(wǎng)線或者 USB 線纜自動(dòng)連接

4、所有的通道同時(shí)測量可高達(dá) 20kHz 的采樣速度

5、測量范圍可調(diào)，一個(gè)探頭，多個(gè)測量范圍，可以通過軟件，將數(shù)據(jù)保存為csv文件，可以通過軟件進(jìn)行靈活的濾波和平均控制。

具有數(shù)字化接口設(shè)計(jì)系列的放大器，它使用的技術(shù)將一個(gè)高度可靠的電容式電場測量（位移）直接轉(zhuǎn)化為一個(gè)高度精確的位移數(shù)字信號(hào)。

電容位移傳感器的應(yīng)用

顯微鏡聚焦 „鏡頭的對(duì)準(zhǔn) „測量零件的外形 „測量零件的傾斜 „測量半導(dǎo)體硅片的厚度 „測量壓電平臺(tái)的位移 „測量振動(dòng) „測量電腦硬盤運(yùn)行和厚度 „測量剎車盤的翹曲和厚度 „測量金屬板的厚度 „測量光伏晶圓

MTI 標(biāo)準(zhǔn)探頭的特點(diǎn)

● 電纜和探頭使用的的溫度范圍: -130ºC  -- 200ºC (也有高溫探頭，在下一頁有介紹)

● 連接頭的使用溫度范圍: -65ºC -- 85ºC

● 精度: 高于滿量程的±0.02% （當(dāng)探頭和放大器經(jīng)過和被測物校準(zhǔn)后）

● 標(biāo)準(zhǔn)放大器濾波帶寬: 500Hz

● 可選濾波帶寬 10Hz, 100Hz, 1kHz, 2kHz, 5kHz 以及 660Hz-Bessel

● 1分辨率 RMS: (0.000423 x 濾波帶寬  Hz + 1.2) x 0.00002 x 量程

● 探頭和電纜互換性: ± 0.5%（在沒有經(jīng)過校準(zhǔn)的情況下互換）

● 承受壓力范圍: 14MPa- (不適用于高溫探頭)

● 材料: 不銹鋼結(jié)構(gòu),內(nèi)部沒有電子元器件

● 帶線纜的探頭，同軸電纜長度: 2.4m (可選延長線纜.)

 

型號(hào)       ASP-1-ILR

 

量程

2zui大擴(kuò)展量程

 

感度

 

感測直徑E

 

探頭直徑D

 

探頭長度L

 

zui小范圍

µm

25.4

 

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

2.36

mm

9.53

µm

1.270

ASP-2-ILR

50.8

10

5.08

1.55

2.84

9.53

2.540

ASP-5-ILR

127.0

10

12.70

2.49

3.96

9.53

6.350

ASP-10-ILR

254.0

10

25.40

3.53

5.54

9.53

12.700

ASP-20-ILR

508.0

4

50.80

5.00

7.92

9.53

25.400

ASP-50-ILR

1270.0

3

127.00

7.98

13.87

9.53

63.500

ASP-100-ILR

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

9.53

127.000

ASP-200-ILR

5080.0

2

508.00

15.93

38.10

9.53

254.000

 

 

型號(hào)       ASP-25M-CTR

 

量程

2zui大擴(kuò)展范圍

 

感度

 

感測直徑E

 

探頭直徑D

 

探頭長度L

 

zui小范圍

µm

25.4

 

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

9.53

mm

25.40

µm

1.270

ASP-50M-CTR

50.8

10

5.08

1.55

9.53

25.40

2.540

ASP-125M-CTR

127.0

10

12.70

2.49

9.53

25.40

6.350

ASP-250M-CTR

254.0

10

25.40

3.53

9.53

25.40

12.700

ASP-500M-CTR

508.0

4

50.80

5.00

11.13

25.40

25.400

ASP-1250M-CTR

1270.0

3

127.00

7.98

15.88

25.40

63.500

ASP-2500M-CTR

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

25.40

127.000

 

 

產(chǎn)品型號(hào)       ASP-1-ILA

 

量程

2zui大擴(kuò)展范圍

 

感度

 

感測直徑E

 

探頭直徑D

 

探頭長度L

 

zui小范圍

µm

25.4

 

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

2.36

mm

9.53

µm

1.270

ASP-2-ILA

50.8

10

5.08

1.55

2.84

9.53

2.540<,/,SPAN>

ASP-5-ILA

127.0

10

12.70

2.49

3.96

9.53

6.350

ASP-10-ILA

254.0

10

25.40

3.53

5.54

9.53

12.700

ASP-20-ILA

508.0

4

50.80

5.00

7.92

9.53

25.400

ASP-50-ILA

1270.0

3

127.00

7.98

13.87

9.53

63.500

ASP-100-ILA

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

9.53

127.000

ASP-200-ILA

5080.0

2

508.00

15.93

38.10

9.53

254.000

 

   

 

型號(hào)       ASP-0.5-CTA

 

量程

2zui大擴(kuò)展范圍

 

感度

 

感測直徑E

 

探頭直徑D

 

探頭長度L

 

zui小范圍

µm

12.7

 

20

µm/V

1.27

mm

0.74

mm

6.35

mm

63.50

µm

0.635

ASP-25M-CTA

25.4

10

2.54

1.09

6.35

63.50

1.270

ASP-50M-CTA

50.8

10

5.08

1.55

6.35

63.50

2.540

ASP-125M-CTA

127.0

10

12.70

2.49

6.35

63.50

6.350

ASP-250M-CTA

254.0

10

25.40

3.53

6.35

63.50

12.700

ASP-500M-CTA

508.0

5

50.80

5.00

11.10

63.50

25.400

ASP-1250M-CTA

1270.0

3

127.00

7.98

15.88

63.50

63.500

ASP-2500M-CTA

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

63.50

127.000

ASP-5000M-CTA

5080.0

2

508.00

15.93

38.10

101.60

254.000

ASP-500-CTA

12700.0

1

1270.00

25.22

82.55

101.60

635.000
 

 

 

型號(hào)       ASP-1-PCA

 

量程

2zui大擴(kuò)展范圍

 

感度

 

感測直徑E

 

探頭直徑D

 

探頭長度L

 

zui小范圍

µm

25.4

 

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

2.36

mm

2.54

µm

1.270

ASP-2-PCA

50.8

10

5.08

1.55

2.84

2.54

2.540

ASP-5-PCA

127.0

10

12.70

2.49

3.96

2.54

6.350

ASP-10-PCA

254.0

10

25.40

3.53

5.54

2.54

12.700

ASP-20-PCA

508.0

4

50.80

4.98

7.92

2.54

25.400

ASP-50-PCA

1270.0

3

127.00

7.98

13.87

2.54

63.500

ASP-100-PCA

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

2.54

127.000
 
 

 

型號(hào)       ASP-1-PCR

 

量程

2zui大擴(kuò)展范圍

 

感度

 

感測直徑E

 

探頭直徑D

 

探頭直徑L

 

zui小范圍

µm

25.4

 

10

µm/V

2.54

mm

1.09

mm

2.36

mm

2.54

µm

1.270

ASP-2-PCR

50.8

10

5.08

1.55

2.84

2.54

2.540

ASP-5-PCR

127.0

10

12.70

2.49

3.96

2.54

6.350

ASP-10-PCR

254.0

10

25.40

3.53

5.54

2.54

12.700

ASP-20-PCR

508.0

4

50.80

4.98

7.92

2.54

25.400

ASP-50-PCR

1270.0

3

127.00

7.98

13.87

2.54

63.500

ASP-100-PCR

2540.0

2

254.00

11.25

25.40

2.54

127.000

ASP-200-PCR

5080.0

2

508.00

15.93

38.10

5.08

254.000

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